PJ80半导体检查显微镜
一、仪器简介:
1、物镜转盘等采用电动切换模式,操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 动平台,为半导体、FPD 检测提供最 佳的 应用环境。最大可支持 200mm 晶圆及14 英寸液晶面板的检查。
2、显微镜采用长工作距离复消色差APO物镜, 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34, 20X/NA0.3/WD31(可选50X物镜NA0.45,WD20.1和100X物镜NA0.80,WD6)。超长的工作距离带来更自由的操作空间。特别适合半导体探针,点墨,擦拭,清洁等工站使用。
3、采用全新LED照明系统和光学系统,照明均匀,成像清晰。突破性的大金相机架设计,可承载8英寸超大工作平台, 平台面积525mmX330mm, 采用了离合器驱动的手动XY载物台,移动行程210*210mm。
PJ80-BD明暗场观察
型 号 | PJ80-BD |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
光学放大倍数 | 50倍-500倍(可选1000倍) |
数码放大倍数 | 150倍-1500倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000倍 |
工业相机 | 1200万1/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素) |
观察筒 | 角度可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
目镜 | 高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调 |
明暗场物镜 | 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 5X NA0.15 WD15 |
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 10X NA0.30 WD8.4 | |
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 20X NA0.40 WD11.9 | |
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 50X NA0.75 WD3.0 | |
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 100X NA0.90 WD1.0 (可选) | |
无限远长工作距明暗场全复消色差金相物镜 50X NA0.55 WD8.0 (可选) | |
无限远长工作距明暗场全复消色差金相物镜 100X NA0.80 WD2.8 (可选) | |
物镜转换器 | 电动明暗场6孔转换器(带DIC插槽),物理按钮和软件双控. |
机架 | 透反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 |
载物台 | 8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 |
聚光镜 | 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) |
反射照明器 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽, |
灯室 | 5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心 |
摄像接口 | 摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X) |
偏光组件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 |
电脑 | 品牌电脑和显示器 |
测量软件 | 测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合 |
标尺 | 高精度型测微尺,格值0.01mm |
PJ80-B明场观察
型 号 | PJ80-B |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
光学放大倍数 | 50倍-500倍(可选1000倍) |
数码放大倍数 | 150倍-1500倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000倍 |
工业相机 | 1200万1/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素) |
观察筒 | 角度可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
目镜 | 高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调 |
明场物镜 | 无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 5X NA0.15 WD15 |
无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 10X NA0.30 WD8.4 | |
无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 20X NA0.40 WD11.9 | |
无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 50X NA0.75 WD3.0 | |
无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 100X NA0.90 WD1.0 (可选) | |
无限远长工作距明场全复消色差金相物镜 50X NA0.55 WD8.0 (可选) | |
无限远长工作距明场全复消色差金相物镜 100X NA0.80 WD2.8 (可选) | |
物镜转换器 | 电动明暗场6孔转换器(带DIC插槽),物理按钮和软件双控. |
机架 | 透反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 |
载物台 | 8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 |
聚光镜 | 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) |
反射照明器 | 明场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽, |
灯室 | 5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心 |
摄像接口 | 摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X) |
偏光组件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 |
电脑 | 品牌电脑和显示器 |
测量软件 | 测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合 |
标尺 | 高精度型测微尺,格值0.01mm |
PJ80-APO95mm镜头
型 号 | PJ80-APO |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
光学放大倍数 | 20倍-200倍(可选1000倍) |
数码放大倍数 | 60倍-600倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000倍 |
工业相机 | 1200万1/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素) |
观察筒 | 角度可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
目镜 | 高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调 |
95mmAPO 长距离 物镜 | 无限远长工作距明场金相物镜 2X NA0.06 WD34 |
无限远长工作距明场金相物镜 5X NA0.15 WD45 | |
无限远长工作距明场金相物镜 10X NA0.3 WD34 | |
无限远长工作距明场金相物镜 20X NA0.3 WD31 | |
物镜转换器 | 电动明暗场6孔转换器(带DIC插槽),物理按钮和软件双控. |
机架 | 透反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 |
载物台 | 8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 |
聚光镜 | 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) |
反射照明器 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽, |
灯室 | 5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心 |
摄像接口 | 摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X) |
偏光组件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 |
电脑 | 品牌电脑和显示器 |
测量软件 | 测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合 |
标尺 | 高精度型测微尺,格值0.01mm |
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